Výroba / technologie | 24. 1. 2020

Společnost KUKA zkonstruovala jako první na světě mobilní robotické řešení pro výrobu polovodičů

Výroba polovodičů je složitý a komplexní proces. Až dosud neexistoval žádný mobilní automatizovaný systém jejich výroby, který by umožňoval přenos součástí z jedné fáze výroby do další. To se nyní změnilo s manipulačním mobilním robotickým řešením společnosti KUKA.

 

Polovodiče dnes najdete všude

Malé inteligentní počítačové čipy – polovodiče – se dnes používají ve všech oblastech každodenního života: od chytrých telefonů a tabletů až po automobily. Tyto součásti mají zásadní význam v souvislosti aktuálními megatrendy v automobilovém průmyslu. Při výrobě polovodičů se chemický prvek křemík zpracovává ve formě plátků (wafers). Destičky jsou během výroby skladovány ve speciálních plastových kazetách v čistém prostředí (Clean room) a zpracovávány v mnoha procesních krocích. Protože se poptávka po polovodičích zvyšuje a bude zvyšovat, chtějí producenti automatizovat jejich výrobní proces.

KUKA_Wafer_Handling_Solution_01

Automatizovaná manipulace s wafers

Společnost KUKA jako první na světě představila řešení pro automatizovaný přenos a manipulaci s polovodičovými kazetami od jednoho dodavatele. Toto pracoviště se skládá ze standardizované autonomní mobilní jednotky (AGV) a osvědčeného kolaborativního robota KUKA LBR iiwa. Kromě toho byl také vyvinut speciální uchopovací systém pro tuto aplikaci včetně kompletního software.

 

Robotické řešení pro čisté prostory v polovodičovém průmyslu

Pohyblivost systému zajišťuje KUKA mobilní platforma KMR 200 CR. Plošina má speciální kola “Mecanum”, která umožňují všesměrový pohyb jednotky. Senzory snímají okolní prostředí v reálném čase, čímž řeší bezpečnost a zabraňují kolizím. Na platformě je nainstalován kolaborativní robot KUKA LBR iiwa, schopný přímé a bezpečné spolupráce s člověkem. Vysoká citlivost robota umožňuje spolehlivě a bez vibrací manipulovat s citlivými kazetami s polovodičovými destičkami. Třetí součástí řešení je speciální uchopovací hlavice, která byla patentována společností KUKA.

KUKA_Wafer_Handling_Solution_02

Software řídí mobilní robotickou flotilu

Hardware a také i software pro uvedenou robotickou aplikaci manipulace s křemíkovými wafers, jsou z dílny společnosti KUKA. Kvalitní softwarové řešení velmi přesně zapadá do moderního automatizovaného procesu při výrobě polovodičů. Integrovaný manažer flotily robotických mobilních jednotek řídí jednotlivé objednávky tak, aby zajistil optimálně automatizovanou výrobu polovodičů. Kompletní řešení je od jednoho dodavatele a je certifikováno. Důsledkem toho je velmi krátká doba uvedení zařízení do provozu, kvalitní servis a následné služby, díky čemuž je tento systém společnosti KUKA unikátním řešením v oblasti manipulace při výrobě polovodičů.


www.kuka.com

Fota z archivu: KUKA CEE GmbH, odštěpný závod